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J-GLOBAL ID：201702215010917387   整理番号：17A0443979

環状セル幾何学を用いた空気結合容量型微細加工超音波変換器の集中要素モデリング【Powered by NICT】

Lumped element modeling of air-coupled capacitive micromachined ultrasonic transducers with annular cell geometry

著者 (6件)： Na Shuai (Advanced Micro-/Nano-Devices Lab, Department of Systems Design Engineering, Waterloo Institute for Nanotechnology, University of Waterloo, 200 University Avenue West, Waterloo, ON N2L 3G1, Canada) ,  Wong Lawrence L.P. (Advanced Micro-/Nano-Devices Lab, Department of Systems Design Engineering, Waterloo Institute for Nanotechnology, University of Waterloo, 200 University Avenue West, Waterloo, ON N2L 3G1, Canada) ,  Chen Albert I.H. (Advanced Micro-/Nano-Devices Lab, Department of Systems Design Engineering, Waterloo Institute for Nanotechnology, University of Waterloo, 200 University Avenue West, Waterloo, ON N2L 3G1, Canada) ,  Li Zhenhao (Advanced Micro-/Nano-Devices Lab, Department of Systems Design Engineering, Waterloo Institute for Nanotechnology, University of Waterloo, 200 University Avenue West, Waterloo, ON N2L 3G1, Canada) ,  Macecek Mirek (Techno Scientific Inc, 259 Edgeley Blvd, Concord, ON L4K 3Y5, Canada) ,  Yeow John T.W. (Advanced Micro-/Nano-Devices Lab, Department of Systems Design Engineering, Waterloo Institute for Nanotechnology, University of Waterloo, 200 University Avenue West, Waterloo, ON N2L 3G1, Canada)
資料名： Ultrasonics  (Ultrasonics)
巻： 76  ページ： 19-27  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0379B  ISSN： 0041-624X  CODEN： ULTRA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環状セル幾何学に基づく空気結合静電容量微細加工超音波変換器(CMUT)が最近報告されている。有限要素解析と実験的研究は,従来の円形CMUTと比較して送信効率における有意な改善を示した。以前の研究の拡張,環状セルCMUTの集中素子モデルを提案した。一様圧力を受ける固定環状板の共鳴周波数,モードベクトル,と静的変位の陽的表示は最初の板理論と曲線フィッティング法に基づいて導いた。環状CMUTセルの集中型モデルを空間変数として平均変位を採用することにより開発した。提案モデルを用いて,平均と最大変位の比は8/15であることを導いた。作製した環状CMUT細胞に関する実験的及びシミュレーション研究は,集中型モデルの有効性を検証した。提案したモデルは,空気結合環状セルCMUTを解析し,設計するための効果的で効率的な方法を提供する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 静電容量 ,  *微細加工 ,  *超音波 ,  送信 ,  曲線あてはめ ,  *超音波変換器 ,  環状板 ,  *モデリング ,  幾何学 ,  共振周波数
準シソーラス用語： 集中定数モデル ,  板理論 ,  有限要素解析 ,  *CMUT ,  *環状 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 環状細胞 ,  静電容量型微細加工超音波変換器(CMUT) ,  集中要素モデル ,  空気結合超音波

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 環状 ,  セル ,  幾何学 ,  容量型微細加工超音波変換器 ,  要素 ,  モデリング