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J-GLOBAL ID：201702216216003143   整理番号：17A0165276

ガス流量がTYUT型MPCVD装置の大面積ダイヤモンド膜への影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Gas Flow Rates on the Large Area Diamond Films Deposited by TYUT-type MPCVD Equipment

著者 (8件)： Zheng Ke (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  Zhong Qiang (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  Gao Jie (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  Hei Hongjun (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  Shen Yanyan (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  Liu Xiaoping (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  He Zhiyong (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology) ,  Yu Shengwang (Research Institute of Surface Engineering,College of Materials Science and Engineering,Taiyuan University of Technology)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 45  号： 10  ページ： 2359-2363  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 周波数2.45GHZのTYUT型MPCVD装置を用い,H_2とCH_4をガス源とし,出力8KW,基板温度1000°C,ガス流量100~800SCCMの条件下で,実験を行った。直径65MMの大面積ダイヤモンド膜の堆積実験を行った。ダイヤモンド膜の表面形態,配向,厚さ,および品質を,走査型電子顕微鏡,X線回折,デジタル回折計,およびRAMAN分光法によって特性評価した。実験結果により,ガス流量の変化は,ダイヤモンド膜の結晶粒度,結晶配向,堆積速度,厚さ均一性および品質に大きな影響を及ぼした。ガス流量が300~600SCCMの範囲内で調製したダイヤモンド膜は,結晶粒度の均一性,表面欠陥の少なさ,および高品質の利点を持っている。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶方位 ,  走査電子顕微鏡 ,  基板温度 ,  堆積速度 ,  X線回折 ,  キャラクタリゼーション ,  表面欠陥 ,  *結晶粒度 ,  品質
準シソーラス用語： 高品質 ,  表面形態 ,  *ダイヤモンド膜 ,  *大面積 ,  *マイクロ波プラズマCVD ,  *ガス流量 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： gas flow rate ,  MPCVD ,  diamond film ,  uniformity ,  grain orientation ,  quality

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガス流量 ,  MPCVD ,  大面積 ,  ダイヤモンド膜