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J-GLOBAL ID：201702216334481387   整理番号：17A0550174

高度な応用のためのHIMによるグラフェンの単ナノメータパターニング

Single-Nanometer Patterning of graphene by HIM for advanced applications

著者 (5件)： MIZUTA Hiroshi (JAIST) ,  SCHMIDT Marek E. (JAIST) ,  KANZAKI Teruhisa (JAIST) ,  OGAWA Shinichi (AIST) ,  MURUGANATHAN Manoharan (JAIST)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.16p-315-7  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ヘリウム ,  *イオン ,  *イオン顕微鏡法 ,  *グラフェン ,  *ナノメータ加工 ,  *パターン形成 ,  ナノ構造 ,  リボン結晶 ,  イオンエッチング ,  正孔 ,  ピッチ【機械要素】
準シソーラス用語： ヘリウムイオン ,  グラフェンナノリボン ,  *単層グラフェン ,  イオンミリング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 応用 ,  Him ,  グラフェン