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J-GLOBAL ID：201702216858019501   整理番号：17A0402994

複合陰極アーク/スパッタ法により作製した高密度と高安定性Ti_2AlN MAX相被覆【Powered by NICT】

Dense and high-stability Ti₂AlN MAX phase coatings prepared by the combined cathodic arc/sputter technique

著者 (7件)： Wang Zhenyu (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Wang Zhenyu (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Liu Jingzhou (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Wang Li (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Li Xiaowei (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Ke Peiling (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Wang Aiying (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 396  ページ： 1435-1442  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti_2AlNはMAX相,金属及びセラミック特性のユニークな組み合わせを示すとして知られている三元ナノ層状合金のファミリーに属する。本研究では,緻密で高安定性Ti_2AlNコーティングを,組み合わせ陰極アーク/スパッタ堆積,それに続く熱後処理により成功裏に調製した。は堆積したままのTi-Al-N被覆は,(Ti, N)に富む層とAlに富む層が交互に成長し,多層構造を示したTiN及びTiAl_xの混合相構造を有することが分かった。1.5時間の真空条件で800°Cでのアニーリング後,多層構造はまだ見いだされたが,多層界面の一部が不明瞭と消失となった。特に,Alリッチ層の厚さは,Al元素の内部拡散による溶射のままの溶射層のそれとは対照的に減少した。Ti_2AlN MAX相が焼なまししたコーティングの主要な相として出現し,その生成機構についても本研究で議論した。真空熱分析が形成されTi_2AlN MAX相は高安定性,主に大きな厚さと緻密な構造から恩恵を受けたを示したことを示した。複合陰極アーク/スパッタ法に基づくこの進んだ技術は次の保護被覆材料の良好な熱安定性,高い耐食性と耐酸化性などの調整された高い性能を有する他のMAX相被覆を堆積させるために拡張することができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱安定性 ,  後処理 ,  耐食性 ,  界面 ,  *アルミニウム ,  *アーク放電 ,  耐酸化性 ,  多層構造 ,  被覆材 ,  焼なまし ,  スパッタ蒸着 ,  溶射層 ,  ナノシート
準シソーラス用語： 窒化チタン ,  ナノ薄膜 ,  *MAX相 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ積層 ,  MAX相 ,  複合陰極アーク/スパッタ ,  高密度 ,  高安定性

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 陰極 ,  アーク ,  スパッタ法 ,  作製 ,  高密度 ,  安定性 ,  MAX相