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J-GLOBAL ID：201702217378482776   整理番号：17A0171591

レーザ電圧検出とイメージング技術の故障解析への応用【JST・京大機械翻訳】

Application of the Laser Voltage Probing and Imaging Technology in Failure Analysis

著者 (7件)： Chen Liqing (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Zhao Ruihao (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Sun Mingsheng (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Lin Guangqi (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Su Ke (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Hu Qiyu (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Jia Hui (School of Software & Microelectronics, Peking University)
資料名： Bandaoti Jishu  (Bandaoti Jishu)
巻： 41  号： 11  ページ： 875-880  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2378A  ISSN： 1003-353X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 従来の故障点標定技術(如光),ビーム誘導抵抗変化(変換),および赤外イメージングなどの,タイミング信号回路の内部の伝送信号と故障位置の位置決め誤差の問題を解決するために,レーザ電圧検出とイメージングの故障解析技術を紹介した。まず第一に,レーザ走査検出システムとレーザ電圧検出イメージング技術を簡潔に紹介し,そして,レーザ走査検出システムに基づくレーザ電圧検出とイメージング技術を用いて,標準セルにおけるタイミング論理回路の故障解析を行った。結果により,レーザ電圧検出イメージング技術は,標準要素の内部周波数信号を追跡し,信号波形を測定し,そして,回路の原理解析およびチップレイアウトによって,故障点を正確に位置決めし,そして,故障位置および故障原因を,解析した。最後に,故障モードを確立した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 故障モード ,  *画像処理 ,  *故障解析 ,  同期信号 ,  *レーザ ,  故障点標定 ,  *故障 ,  *電圧 ,  位置決め ,  *画像技術 ,  標準電池
準シソーラス用語： 故障原因 ,  検知システム ,  レーザ走査 ,  赤外イメージング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： laser voltage probing ,  imaging technology ,  timing logic circuit ,  failure analysis ,  standard cell

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  イメージング技術 ,  故障解析 ,  応用