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J-GLOBAL ID：201702217535186333   整理番号：17A0067818

高密度SIC被覆は,化学蒸着によって調製され,形成された。【JST・京大機械翻訳】

Low temperature synthesis and formation mechanism of dense SiC coating layer by fluidized bed chemical vapor deposition

著者 (7件)： Wang Ziliang (Collaborative Innovation Center of Advanced Nuclear Energy Technology,Institute of Nuclear and New Energy Technology,Tsinghua University) ,  Liu Rongzheng (Collaborative Innovation Center of Advanced Nuclear Energy Technology,Institute of Nuclear and New Energy Technology,Tsinghua University) ,  Liu Malin (Collaborative Innovation Center of Advanced Nuclear Energy Technology,Institute of Nuclear and New Energy Technology,Tsinghua University) ,  Chang Jiaxing (Collaborative Innovation Center of Advanced Nuclear Energy Technology,Institute of Nuclear and New Energy Technology,Tsinghua University) ,  Shao Youlin (Collaborative Innovation Center of Advanced Nuclear Energy Technology,Institute of Nuclear and New Energy Technology,Tsinghua University) ,  Liu Bing (Collaborative Innovation Center of Advanced Nuclear Energy Technology,Institute of Nuclear and New Energy Technology,Tsinghua University) ,  Wang Yongxin (School of Materials Science and Engineering,Northwestern Polytechnical University)
資料名： Fuhe Cailiao Xuebao  (Fuhe Cailiao Xuebao)
巻： 33  号： 8  ページ： 1777-1784  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2466A  ISSN： 1000-3851  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 一般的な高密度SIC材料の調製には,非常に高い温度が必要であるが,調製温度を下げることは,SIC調製分野における重要な研究方向である。厚さ数十ミクロンのSIC被覆を,流動層化学気相成長法によって,球状ジルコニアセラミック粒子上に調製した。異なる温度でのSIC被覆層の微細構造と微細構造の変化規則を研究することによって、堆積効率の変化規則を示し、低温生成物のSIが発見されたが、高温生成物は炭素に富むことが分かった。異なるAR含有量の実験研究によると、アルゴンの添加は堆積反応を炭素の方向へ移動させることができ、そのため、温度を著しく低下させる条件下で、緻密なSIC被覆層を調製できる。実験結果により,流動層化学蒸着法を用いて,異なる温度およびアルゴン濃度でSICを調製した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高温 ,  被覆層 ,  炭素 ,  *化学蒸着 ,  微細構造 ,  流動層 ,  低温生成 ,  *被覆 ,  アルゴン
準シソーラス用語： 実験研究 ,  ジルコニアセラミック ,  *高密度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： SiC ,  fluidized bed ,  chemical vapor deposition ,  methyltrichlorosilane ,  coating layer

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： SiC ,  化学蒸着 ,  調製