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J-GLOBAL ID：201702217541444551   整理番号：17A0449263

急速熱アニーリングによるガラス状炭素ナノワイヤの黒鉛化と電気伝導率の増加【Powered by NICT】

Increase in graphitization and electrical conductivity of glassy carbon nanowires by rapid thermal annealing

著者 (6件)： Lim Yeongjin (Department of Mechanical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea) ,  Chu Jae Hwan (School of Materials Science and Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea) ,  Chu Jae Hwan (Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Santa Barbara, CA 93106, USA) ,  Lee Do Hee (School of Materials Science and Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea) ,  Kwon Soon-Yong (School of Materials Science and Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea) ,  Shin Heungjoo (Department of Mechanical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 702  ページ： 465-471  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス状炭素(GC)は高い熱的および化学的安定性,良好な硬度と良好な熱伝導率と電気伝導率のような多くの望ましい特性を示した。,GCは多様な微細加工技術によるマイクロ/ナノ構造,または炭素マイクロ電気機械システム,高分子パターン形成と熱分解を含むに製造することができる。しかし,これらの利点にもかかわらず,GCの電気伝導率を強化するための需要が高まりつつある,補償または黒鉛,カーボンナノチューブ,及びグラフェンなどの他の炭素同素体を置換することができた。本研究では,簡単な急速熱アニーリング(RTA)を熱分解GCナノ構造の電気伝導率を高める~300%劇的にできることを示した。本研究では,固定距離と基質結合ナノワイヤで基板から分離された懸濁ナノワイヤのような1次元カーボンナノ構造の二種類のアーキテクチャは,従来のUVリソグラフィーと熱分解プロセスを用いて製造し,RTAを介してそれらの伝導率増強挙動を研究した。RTAプロセスの後,炭素/酸素含有量とG-/Dバンド強度比,電気伝導率に相関している,が向上し,熱分解温度に依存した。比較的低い温度で熱分解GC構造はそれらの相対的に高い酸素含有量のために,より電気的にRTAプロセス後の導電性になった。これは酸素原子に相互接続された炭素原子はグラフェン治癒機構のために,他の炭素組成に対応するものよりも容易に整列する傾向があるためである。添加では,炭素ナノ構造(すなわち,懸濁または基質結合ナノワイヤがあるかどうか)の構造は電気伝導率のRTA誘導増加に影響した;前者は後者の炭素構造と比較して,表面で整列したカーボン原子の大部分のために電気伝導率の大きな増加を示した。これは黒鉛化が表面に発生し,熱処理中の炭素コアに進んだからである。添加では,熱分解プロセス中に懸濁したカーボンナノワイヤでのみ発生する引張応力は,RTAによる電気伝導率をさらに増強すると推定される。例えば,600°Cでの熱分解によって形成された懸濁した炭素ナノワイヤの電気伝導率は,RTAプロセス後~59,000 4S/mに増加した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ガラス状炭素 ,  パターン形成 ,  グラフェン ,  ナノ構造 ,  *ナノワイヤ ,  導電性 ,  熱分解 ,  硬度 ,  *炭素 ,  *黒鉛化 ,  熱伝導率 ,  *RTA【熱処理】 ,  *電気伝導率 ,  カーボンナノチューブ
準シソーラス用語： *伝導率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ガラス状炭素ナノ構造 ,  急速熱アニーリングプロセス ,  Graphitization ,  電気伝導率 ,  炭素 MEMS

分類 (2件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 急速熱アニーリング ,  ガラス状炭素 ,  ナノワイヤ ,  黒鉛化 ,  電気伝導率