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J-GLOBAL ID：201702218232719071   整理番号：17A0365315

作動中のジルコニウム酸チタン酸鉛piezoMEMSカンチレバーのその場X線回折【Powered by NICT】

In situ X-ray diffraction of lead zirconate titanate piezoMEMS cantilever during actuation

著者 (8件)： Esteves Giovanni (Department of Materials Science and Engineering, North Carolina State University, Raleigh, NC 27695, USA) ,  Fancher Chris M. (Department of Materials Science and Engineering, North Carolina State University, Raleigh, NC 27695, USA) ,  Wallace Margeaux (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, PA 16802, USA) ,  Johnson-Wilke Raegan (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, PA 16802, USA) ,  Wilke Rudeger H.T. (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, PA 16802, USA) ,  Trolier-McKinstry Susan (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, PA 16802, USA) ,  Polcawich Ronald G. (Sensors and Electron Devices Directorate, US Army Research Laboratory, Adelphi, MD 20783, USA) ,  Jones Jacob L. (Department of Materials Science and Engineering, North Carolina State University, Raleigh, NC 27695, USA)
資料名： Materials & Design  (Materials & Design)
巻： 111  ページ： 429-434  発行年： 2016年 
JST資料番号： A0495B  ISSN： 0264-1275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シンクロトロンX線回折(XRD)を用いて,500nmのジルコニウム酸チタン酸鉛(52/48, Zr/Ti)(PZT)に基づく圧電微小電気機械システム(piezoMEMS)デバイスの電場誘起応答を調べた。90°強誘電/強弾性分域再配向はSiO_2とSi_3N_4の3μm厚の弾性層複合材料上の500nm厚のPZT薄膜から成るカンチレバーで観察された。平行及び垂直に磁場部門の両方からの回折データは縞状の強弾性領域の存在,バルク正方晶ペロブスカイト強誘電体のその場電場回折研究で典型的に見られるを示した。磁場方向に再配向ドメインの割合は002および200回折プロファイルの強度変化によって定量化した。結果から計算した最大誘導体積分率は20%であり,これは以前のバルクおよび薄膜強誘電体回折研究で見られた値と同等であった。本研究の新規性は,ミクロンスケール寸法(60,000μmまで~3)の完全に放出された強誘電体薄膜デバイスを,シンクロトロンXRDを用いて電場を印加したin situ調べたことである。さらに,実験は90°強誘電/強弾性分域再配向はこのような小さな寸法の試料で特性化できることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *MEMS ,  正方晶系 ,  再配向 ,  *X線回折 ,  体積率 ,  電場 ,  強誘電体 ,  弾性 ,  強弾性 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *回折 ,  圧電気 ,  シンクロトロン ,  分域 ,  *片持梁

著者キーワード (5件)： X線回折 ,  PiezoMEMS ,  PZT ,  薄膜 ,  Ferroelectrics

分類 (3件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (3件)： ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  カンチレバー ,  X線回折