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J-GLOBAL ID：201702218528203326   整理番号：17A0142339

せん断板圧電アクチュエータに基づく水平2次元ナノ位置決め装置【Powered by NICT】

Horizontal two-dimensional nano-positioner based on shear plate piezoelectric actuators

著者 (3件)： Li Haiyang (State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin, China, 150080) ,  Du Zhijiang (State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin, China, 150080) ,  Dong Wei (State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin, China, 150080)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： 3M-NANO  ページ： 95-100  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,せん断板圧電アクチュエータによって駆動される新しいXYナノ位置決め装置は慣性滑り理論に基づいて提案した。ナノ位置決め装置はフロートガラス板,理論分解能は無限に高いことに5mm×5mmの面積で0.3mm/sの速度での二次元運動を出力することができる,これは圧電アクチュエータの駆動パルスに依存する。せん断圧電アクチュエータに応用した種々のパルスは,コンピュータ制御増幅器システムにより達成可能である。異なる駆動パルスによる作動ナノ位置決め装置の性能も解析し,議論し,例えば分解能と速度である。一般に,アクチュエータは付着モードの端でより高い速度を提供する場合運動段階は長いこと,すなわち,分解能に対する速度をした。最後に,ナノ位置決め装置のプロトタイプシステムは,観測装置,提案した方法の有効性を検証しとしてCCDカメラを用いて開発した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 観測装置 ,  増幅器 ,  *二次元 ,  CCDカメラ ,  分解能 ,  *アクチュエータ ,  パルス ,  *剪断 ,  付着 ,  *位置決め装置 ,  計算制御
準シソーラス用語： *ナノポジショニング ,  *圧電アクチュエータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (4件)： せん断 ,  圧電アクチュエータ ,  2次元 ,  位置決め装置