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J-GLOBAL ID：201702218528760895   整理番号：17A0473073

高温低電力CMOS互換シリコンマイクロヒータを用いたメタンセンシングに関する研究【Powered by NICT】

The study on methane sensing with high-temperature low-power CMOS compatible silicon microheater

著者 (6件)： Ma Hongyu (Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China) ,  Qin Shunli (Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China) ,  Wang Liying (Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China) ,  Wang Gang (Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China) ,  Zhao Xiaohu (Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China) ,  Ding Enjie (Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 244  ページ： 17-23  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低消費電力高温シリコンカンチレバーマイクロヒータは低濃度メタンガスの検出のために提案した。マイクロヒータはSOI(Silicon-On-Insulator)ウエハ上に設計・製作した。通常,熱伝導法を用いた場合に低濃度(低爆発限界以下)でメタンがほぼ知覚できない。他のメタンセンシング技術と比較して,熱伝導検出法は,物のインターネットの要求に最もよく合うことをユニークな特徴を有していた。本研究では,熱伝導法のメタン感知温度は提案したマイクロヒータを用いて600°C以上に増加し,これは約50mWの低い消費電力を示した。メタン熱伝導率とマイクロヒータの抵抗の温度係数の両方で高い加熱温度と高温誘導増加に依存して,増幅器を使うことなしで得られた約22mV/1%CH_4の高感度。実験はまた,提案したマイクロヒータは,セルフクリーニングと本質的に安全なデバイスであることが分かった。CMOS互換作製プロセスは,バッチで作られ,周辺回路とモノリシックに集積した,最終的には生産コストを低下させるシリコンマイクロヒータ可能にするであろう。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： インターネット ,  製造原価 ,  加熱温度 ,  消費電力 ,  熱伝導率 ,  熱伝導 ,  高感度 ,  メタンガス ,  爆発限界 ,  *高温 ,  *CMOS ,  アルカン
準シソーラス用語： 抵抗温度係数 ,  *マイクロヒータ ,  低濃度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： メタン検出 ,  高温度 ,  高感度 ,  低消費電力 ,  シリコン ,  マイクロカンチレバー

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (7件)： 低電力 ,  CMOS ,  シリコン ,  マイクロヒータ ,  メタン ,  センシング ,  研究