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J-GLOBAL ID：201702218956176010   整理番号：17A0697950

DCマグネトロンスパッタリングとそれに続くアニーリングによるNb_2AlCコーティングの作製【Powered by NICT】

Preparation of Nb₂AlC coating by DC magnetron sputtering and subsequent annealing

著者 (7件)： Li Yueming (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Li Yueming (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China) ,  Qian Yuhai (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Zhao Guorui (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Zhao Guorui (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China) ,  Xu Jingjun (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China) ,  Li Meishuan (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 8  ページ： 6622-6625  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Nb_2AlC被覆は二段階法による多結晶Al_2O_3上に堆積した。最初に,非晶質Nb Al C被覆はNb_2AlC化合物ターゲットから室温でDCマグネトロンスパッタリングにより蒸着し,Ar雰囲気中で800°Cでのアニーリングにより得られた結晶Nb_2AlCコーティング。スパッタリング蒸着における結晶Nb_2AlCの形成温度はホットプレスよりはるかに低かった。多結晶被覆は任意の配向を持つナノサイズ結晶粒を示した。XRD,Raman分光法,SEMおよびTEMを用いて,コーティングの成分と微細構造を特性化した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線回折 ,  多結晶 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  Raman分光法 ,  *アルミニウム ,  ホットプレス ,  *焼なまし ,  微細構造 ,  非晶質 ,  結晶粒 ,  *被覆 ,  キャラクタリゼーション ,  結晶
準シソーラス用語： *DCマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Nb_2AlC ,  マグネトロンスパッタリング ,  2段階法 ,  アニーリング

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： DCマグネトロンスパッタリング ,  アニーリング ,  コーティング ,  作製