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J-GLOBAL ID：201702219266215747   整理番号：17A0316294

カスタマイズされたガスクロマトグラフィーによるネオン中の微量不純物の分析【Powered by NICT】

Analysis of trace impurities in neon by a customized gas chromatography

著者 (6件)： Yin Min Kyo (Department of Chemistry, Chungnam National University, Daejeon 305-764, Republic of Korea) ,  Yin Min Kyo (Center for Gas Analysis, KRISS, Daejeon 305-340, Republic of Korea) ,  Lim Jeong Sik (Center for Gas Analysis, KRISS, Daejeon 305-340, Republic of Korea) ,  Moon Dong Min (Center for Gas Analysis, KRISS, Daejeon 305-340, Republic of Korea) ,  Lee Gae Ho (Department of Chemistry, Chungnam National University, Daejeon 305-764, Republic of Korea) ,  Lee Jeongsoon (Center for Gas Analysis, KRISS, Daejeon 305-340, Republic of Korea)
資料名： Journal of Chromatography A  (Journal of Chromatography A)
巻： 1463  ページ： 144-152  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0278B  ISSN： 0021-9673  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体産業で広く用いられている,エキシマレーザは安定なレーザ出力パワーを制御する目的で予混合レーザガスの純度を解析するために重要である。本研究では,GCカスタム化による純ネオン(Ne)ベースガス中の不純物を分析するためのシステムを設計した。市販GC検出器を用いたサブμmol/molレベルで分析できない,純粋なネオン(H_2とHe)中の不純物は,カスタマイズされたパルス放電Neイオン化検出器(PDNeD)及びキャリアガス(Pres.注Ne TCD)としてNeを用いた加圧注入熱伝導率検出器により分析した。結果から,Ne中の微量種は以下の検出限界で同定した:H_2,0.378μmol/mol;O_2,0.119μmol/mol;CH_4,0.880μmol/mol;CO,0.263μmol/mol;CO_2,0.162μmol/mol(PDNeD),0.190μmol/mol(Pres.注Ne TCD)。このようにして開発したこのPDNeDと加圧注入Ne TCD法は高純度Ne中に存在する微量不純物の定量化可能にする。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャリアガス ,  エキシマレーザ ,  検出限界 ,  ヘリウム ,  *ガスクロマトグラフィー ,  *ネオン ,  レーザ出力 ,  パルス放電 ,  *不純物 ,  加圧 ,  純度 ,  半導体工業 ,  熱伝導率検出器 ,  検出器 ,  *カスタム化

著者キーワード (4件)： エキシマレーザ ,  PDNeD ,  加圧注入Ne TCD ,  修飾したGC TCD PDNeD

分類 (2件)： 有機化合物のクロマトグラフィー,電気泳動分析  (CC04034H) ,  有機化合物の各種分析  (CC08034J)

タイトルに関連する用語 (5件)： カスタマイズ ,  ガスクロマトグラフィー ,  ネオン ,  不純物 ,  分析