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J-GLOBAL ID:201702219710265155   整理番号:17A0369775

ゾル-ゲル法で作製したCoドープBa_0 8Sr_0 2TiO_3薄膜の改善された同調特性【Powered by NICT】

Improved tunable properties of Co doped Ba0.8Sr0.2TiO3 thin films prepared by sol-gel method
著者 (5件):
資料名:
巻: 692  ページ: 204-211  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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異なる濃度Coドーパント(0 10mo1%)のBa_0 8Sr_0 2TiO_3薄膜をゾル-ゲル法によりPt/Ti/SiO_2/Si基板上に堆積した。膜の微細構造,表面形態,誘電性質と可変性質はCo濃度の関数として調べた。全てのCoドープBa_0 8Sr_0 2TiO_3(BSTC)薄膜は均一な結晶粒を持つ緻密な微細構造を示し,BSTC薄膜の粒径はCo含有量の増加と共に減少することを実証した。誘電率と損失はいずれもCoドーパントの増加とともに減少した。BSTC薄膜における抑制され誘電損失はCoアクセプタドーピングによる固有電子の減少に起因することを提案した。BSTC薄膜の可同調性は,Coドーパントの添加でも減少したが,4.5の特徴の最大の値は膜の同程度の同調率及び低誘電損失(有望な可変同調形応用のための代替源となったが,5mo1%Coドーパントを有するBSTC膜で得られた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
分類
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酸化物薄膜  ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性 

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