抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では,ガラスモールド成形用金型離型膜であるDLC膜の耐久性,つまり金型寿命を評価するため,繰り返し熱衝撃試験を行い,試験回数の増加に伴う損傷面積の変化,およびラマン分光分析によるDLC膜の構造変化を調査した。熱衝撃試験後の試験片表面には,実際のガラスモールド成形金型と同様にはく離や損傷が発生しており,熱衝撃試験によって金型耐久性を加速的に評価することが可能であった。また,熱衝撃試験を繰り返すことで,DLC膜のグラファイト化が進行し,これに伴い損傷面積が増加することが確認できた。(著者抄録)