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J-GLOBAL ID:201702220499420242   整理番号:17A0697164

GaAs_1-x Sb-xエピ層のLPE成長と光学特性【Powered by NICT】

LPE growth and optical characteristics of GaAs1- x Sb x epilayer
著者 (7件):
資料名:
巻: 463  ページ: 123-127  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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一連GaAs_1-xSb_ エピ層は約550°Cで液相エピタクシー(LPE)法によるGaAs(100)基板上に成長させることに成功した。異なるアンチモン(Sb)含有量を持つ試料を高分解能X線回折(HRXRD)測定,エピ層中のSbの取り込みを確認するにより解析した。GaAs_1-xSb_ エピ層の室温光学的性質を光ルミネセンス(PL)と透過スペクトルにより行った。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
タイトルに関連する用語 (4件):
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