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J-GLOBAL ID：201702221490388508   整理番号：17A0365259

近接間隔気相輸送蒸着したSnS薄膜の圧力誘起方向性変換【Powered by NICT】

Pressure induced directional transformations on close spaced vapor transport deposited SnS thin films

著者 (7件)： Andrade-Arvizu Jacob A. (Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Instituto Politecnico Nacional (ESFM-IPN), 07738 CDMX, Mexico) ,  Garcia-Sanchez M.F. (Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas, Instituto Politecnico Nacional (UPIITA-IPN), 07340 CDMX, Mexico) ,  Courel-Piedrahita M. (Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Instituto Politecnico Nacional (ESFM-IPN), 07738 CDMX, Mexico) ,  Santoyo-Morales J. (Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Instituto Politecnico Nacional (ESFM-IPN), 07738 CDMX, Mexico) ,  Jimenez-Olarte D. (Escuela Superior de Ingenieria Mecanica y Electrica, Instituto Politecnico Nacional (ESIME-IPN), 07738 CDMX, Mexico) ,  Albor-Aguilera M. (Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Instituto Politecnico Nacional (ESFM-IPN), 07738 CDMX, Mexico) ,  Vigil-Galan O. (Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Instituto Politecnico Nacional (ESFM-IPN), 07738 CDMX, Mexico)
資料名： Materials & Design  (Materials & Design)
巻： 110  ページ： 878-887  発行年： 2016年 
JST資料番号： A0495B  ISSN： 0264-1275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,SnS薄膜を空気雰囲気下での近接間隔蒸気輸送(CSVT)法を用いて堆積した。単相,p型SnS薄膜はチャンバー内の最終圧力を変化させることにより合成し,SnSの性質に及ぼすその影響を研究した。結晶粒の方向優先配向(DPO)に及ぼす圧力影響を初めて提示した。堆積薄膜特性に及ぼす種々の圧力値の解析をX線回折分析,Raman分光法,走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,光学的測定および電気特性評価法により行った。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線回折分析 ,  *蒸着 ,  光学的測定 ,  Raman分光法 ,  *薄膜 ,  電気特性 ,  結晶粒 ,  走査電子顕微鏡 ,  *指向性 ,  優先配向 ,  *気相 ,  原子間力顕微鏡 ,  単相
準シソーラス用語： 評価法 ,  チャンバ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： SnS薄膜 ,  CSVT ,  室圧力変動 ,  物理的性質

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 気相 ,  輸送 ,  蒸着 ,  SNS ,  薄膜 ,  誘起 ,  方向性