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J-GLOBAL ID：201702223765271932   整理番号：17A0230348

a-C:H膜の内部構造と摩擦特性の相関

Study on the Friction Properties of a-C:H Films in a Microstructural Point of View

著者 (2件)： 石川功 (東大 大学院) ,  CHOI Junho (東大)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 62  号： 2  ページ： 122-128  発行年： 2017年02月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水素化アモルファス炭素膜(a-C:H膜)は,高硬度,低摩擦性,耐摩耗性などの優れた特性により,様々な用途に用いられている。a-C:H膜は,成膜手法/条件によって,そのトライボロジー特性が大きく変化する。本研究では,a-C:H膜の内部構造を明らかにした上で,内部構造の観点から,a-C:H膜の摩擦特性を調べて,その摩擦メカニズムを明らかにすることを目標とした。この中で,a-C:H膜の内部構造と摩擦特性との間の相関性を重点的に調べた。主な内容:1)a-C:H膜の構造と摩擦特性。2)a-C:H膜の構造による移着膜の違い。3)摩擦界面における化学種について。

シソーラス用語： *トライボロジー ,  *水素化物 ,  *炭素材 ,  *皮膜 ,  特性 ,  *膜構造 ,  界面 ,  *化学種
準シソーラス用語： *水素化アモルファス炭素 ,  *摩擦特性

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (33件)：

• 1) J. ROBERTSON:Diamond-Like Amorphous Carbon, Mat. Sci. Eng. R, 37, 4 (2002) 129-281.
• 2) C. DONNET & A. GRILL:Friction Control of Diamond-Like Carbon Coatings, Surf. Coat. Tech., 94 (1997) 456-462.
• 3) A. ERDEMIR, O. L. ERYILMAZ, I. B. NILUFER & G. R. FENSKE:Effect of Source Gas Chemistry on Tribological Performance of Diamond-Like Carbon Films, Diamond Relat. Mater., 9 (2000) 632-637.
• 4) A. ERDEMIR:The Role of Hydrogen in Tribological Properties of Diamond-Like Carbon Films, Sur. Coat. Tech., 146 (2001) 292-297.
• 5) C. DONNET, J. FONTAINE, A. GRILL & T. L. MOGNE:The Role of Hydrogen on the Friction Mechanism of Diamond-Like Carbon Films, Tribology Lett., 9, 3-4 (2001) 137-142.

タイトルに関連する用語 (3件)： 内部構造 ,  摩擦特性 ,  相関