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J-GLOBAL ID：201702224013810404   整理番号：17A0364599

完全に自動化された自家製ネブライザースプレー法で作製したZnO薄膜の品質因子に及ぼすMoおよびFドーピングの相乗効果【Powered by NICT】

Synergistic effects of Mo and F doping on the quality factor of ZnO thin films prepared by a fully automated home-made nebulizer spray technique

著者 (5件)： Ravichandran K. (PG & Research Department of Physics, AVVM Sri Pushpam College (Autonomous), Poondi, Thanjavur, 613 503, Tamil Nadu, India) ,  Dineshbabu N. (PG & Research Department of Physics, AVVM Sri Pushpam College (Autonomous), Poondi, Thanjavur, 613 503, Tamil Nadu, India) ,  Arun T. (Institute of Physics, Bhubaneswar, 751 005, Odisa, India) ,  Manivasaham A. (PG & Research Department of Physics, AVVM Sri Pushpam College (Autonomous), Poondi, Thanjavur, 613 503, Tamil Nadu, India) ,  Sindhuja E. (PG & Research Department of Physics, AVVM Sri Pushpam College (Autonomous), Poondi, Thanjavur, 613 503, Tamil Nadu, India)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 392  ページ： 624-633  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非ドープ,Moをドープした,Mo+F共ドープZnOの透明導電性酸化物膜を容易な自家製ネブライザー噴霧熱分解法を用いて堆積した。構造的,光学的,電気的性質および表面形態に及ぼすMoとFドーピングの効果をXRD,UV-vis-NIR分光,I-VとH allプローブ法,FESEM,AFM,およびXPSを用いて研究した。XRD分析は,全ての膜は六方晶ウルツ鉱型構造で結晶化していることを確認した。合成したすべての試料は可視領域で高い透過率(85%以上)を示した。電流-電圧(I V)特性は,膜のオーム伝導性を示した。H allプローブ測定はMoとFドーピングの相乗効果は,ZnO膜の品質因子の望ましい改善を引き起こすことを示した。移動度とキャリア濃度の著しく高い値と5.12×10~ 3Ωcmの最小抵抗率はMo(2at.%)+F(15at.%)共ドープZnO膜で達成された。MoとFドーピングによって生じた深い準位発光の強度のかなりの変動を,光ルミネセンス(PL)研究で観察された。試料中の構成元素の存在をXPS分析により確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *モリブデン ,  X線回折 ,  キャリア密度 ,  *相乗作用 ,  光ルミネセンス ,  導電性 ,  六方晶系 ,  電気抵抗率 ,  透過率 ,  *ドーピング ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： 電界放出型走査電子顕微鏡 ,  表面形態 ,  透明導電性酸化物 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： TCO ,  Mo+Fを同時ドープしたZnO膜 ,  ネブライザースプレー法 ,  電気伝導率 ,  品質因子 ,  XPS

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (9件)： 自動化 ,  ネブライザー ,  スプレー法 ,  作製 ,  ZnO薄膜 ,  品質因子 ,  Mo ,  ドーピング ,  相乗効果