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J-GLOBAL ID：201702226272910725   整理番号：17A0531461

SIC薄膜の機械的性質の理論的研究【JST・京大機械翻訳】

Theoretical Study on Mechanical Properties of SiC Films

著者 (9件)： He Guotang (School of Electronic Science and Engineering,Nanjing University) ,  Liu Bin (School of Electronic Science and Engineering,Nanjing University) ,  Dai Jiangping (School of Electronic Science and Engineering,Nanjing University) ,  Xie Zili (School of Electronic Science and Engineering,Nanjing University) ,  Han Ping (School of Electronic Science and Engineering,Nanjing University) ,  Zhang Rong (School of Electronic Science and Engineering,Nanjing University) ,  Wang Shouxu (Nanjing Electronic Devices Institute) ,  Huang Min (Nanjing Electronic Devices Institute) ,  Zhu Jian (Nanjing Electronic Devices Institute)
資料名： Bandaoti Guangdian  (Bandaoti Guangdian)
巻： 37  号： 6  ページ： 805-808,841  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2379A  ISSN： 1001-5868  CODEN： BAGUE5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 現在、極端薄膜環境におけるSIC薄膜の力学的性質はまだ明らかではなく、関連する力学パラメータについては更なる研究が必要である。本論文では,シミュレーションソフトウェアANSYSを用いて,異なる条件下でのSIC薄膜の機械的性質を理論的に解析した。SIC薄膜の面積と厚さが剛性に及ぼす影響を研究した結果,その剛性は薄膜の面積に逆比例し,薄膜厚さの三乗に比例することが分かった。第二に,SIC薄膜の機械的性質に及ぼす欠陥のサイズと位置の影響を研究し,シミュレーション結果により,欠陥の位置が膜中心に近づくほど,剛性に及ぼす影響が大きいことを示した。欠陥のサイズが大きいほど,密度が高くなると,膜の剛性は小さくなる。高温でのYOUNG率データによると,SIC薄膜の剛性は290~2500Kの範囲にあり,温度の上昇とともに減少した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *機械的性質 ,  剛性 ,  シミュレーション ,  高温 ,  *薄膜
準シソーラス用語： ANSYS ,  シミュレーションソフトウェア ,  力学的性質 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： SiC thin film ,  ANSYS numerical simulation ,  stiffness ,  defect ,  temperature

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (5件)： SiC ,  薄膜 ,  機械的性質 ,  理論 ,  研究