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J-GLOBAL ID:201702226280035237   整理番号:17A0118685

膜移動技術による流れセンサを用いた円筒中空構造の開発【Powered by NICT】

Development of cylinder hollow structure with flow sensor by film transfer technology
著者 (5件):
資料名:
巻: 2016  号: SENSORS  ページ: 1-3  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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著者らは以前に,壁せん断応力を検出するための滑らかな表面柔軟センサを提案し,フレキシブルフラット表面上にセンサを組み立てるための作製プロセスを開発した。今回,新たに商品化バスケットかん子のガイドワイヤーへのフローセンサを置き,分離容易に流れセンサを用いた円筒中空構造を提案し,膜移動技術を応用して曲がった円筒中空表面上にセンサ要素を組み立てるに挑戦した。二層膜構造は熱流センサを用いた円筒中空を生成するために導入し,その製造プロセスを開発した。熱流センサを用いた円筒中空の巨視的モデルを作製した。熱流センサの二基本的な流れセンサ特性を評価した。17msの短縮応答時間はパリレン膜基板の薄さのために得られた。流量検出特性はKing’s則に従った。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
分類
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流体の実験・試験・測定方法及び装置  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  その他の熱的変量の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (3件):
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