抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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GaN on Siを用いた低損失・高耐電力な特性を有するスイッチの試作結果について報告する。本スイッチにはSi基板上にGaN層を形成したGaNonSiを適用している。Si基板は安価であるが,GaNデバイスの基板材料としてよく用いられるSiCに比べ損失が大きいことが課題である。低損失化のために非対称型かつインダクタとFETによる並列共振器構成を用いた回路を適用した高耐電力スイッチを試作,X帯比帯域30%での評価結果として受信時挿入損失1.28dB以下,送信時アイソレーション11.0dB以上,43.1dBm以上のハンドリングパワーを達成し,GaNonSiを用いた場合でも低損失な電気特性を得ることができた。(著者抄録)