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J-GLOBAL ID：201702228437745715   整理番号：17A0696186

改良した真空蒸着技術により合成したナノ構造ZnO薄膜に及ぼす蒸着時間の影響

Effect of Deposition Time on Nanostructure ZnO Thin Films Synthesized by Modified Thermal Evaporation Technique

著者 (5件)： ISLAM M. S. (Rajshahi Univ. Engineering and Technol., Rajshahi, BGD) ,  HOSSAIN M. F. (Rajshahi Univ. Engineering and Technol., Rajshahi, BGD) ,  RAZZAK S. M. A. (Rajshahi Univ. Engineering and Technol., Rajshahi, BGD) ,  HAQUE M. M. (Bangladesh Atomic Energy Commission, Dhaka, BGD) ,  SAHA D. K. (Bangladesh Atomic Energy Commission, Dhaka, BGD)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 16  号： 9  ページ： 9190-9194  発行年： 2016年09月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 裸のガラス基板上にナノ構造ZnO薄膜を時間を変えて(1~30分)真空蒸着した。蒸着時間がZnO薄膜の形態特性に及ぼす影響及び膜厚との関係を調べた。X線回折では,膜は六方晶系ウルツ鉱型構造を有し,微結晶の大きさは蒸着時間と共に23nmから28nmへ増大した。1,5,30分の蒸着時間に対して,それぞれナノファイバー,ナノフレーク,ナノスパイク状構造のZnO膜が観測された。全ての試料は375nmでバンド端が急激に低下し,良好な透過率を示した。蒸着時間が増すと,バンドギャップは3.26eVから3.09eVへ減少し,これは近可視光によるZnO膜の励起を高めると思われ,廃水浄化用の光触媒として適する。

シソーラス用語： 真空蒸着 ,  *ナノ構造 ,  *酸化亜鉛 ,  半導体材料 ,  半導体薄膜 ,  時間依存性 ,  時間 ,  特性 ,  形態 ,  *結晶構造 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  フレーク ,  ナノファイバ ,  光触媒
準シソーラス用語： *ナノスパイク ,  ナノフレーク ,  形態特性 ,  蒸着時間

分類 (1件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 真空蒸着 ,  ナノ構造 ,  ZnO薄膜 ,  蒸着