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J-GLOBAL ID：201702228559467232   整理番号：17A0734965

Α-C:H膜の化学構造による光学的性質への影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of chemical structure of α-C:H films on optics property

著者 (6件)： Liu Xinghua (Chongqing University) ,  Wu Weidong (Research Center of Laser Fusion ,CAEP) ,  He Zhibing (Research Center of Laser Fusion ,CAEP) ,  Zhang Baoling (Research Center of Laser Fusion ,CAEP) ,  Wang Hongbin (Research Center of Laser Fusion ,CAEP) ,  Cai Congzhong (College of Mathematics and Physics,Chongqing University)
資料名： Qiangjiguang yu Lizishu  (Qiangjiguang yu Lizishu)
巻： 21  号： 3  ページ： 350-354  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2482A  ISSN： 1001-4322  CODEN： QYLIEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： H_2とTRANS-2-ブテン(T_2B)の体積分率が作業%であるとき,低圧プラズマ強化化学気相堆積法を用いて,Aを調製した。H膜。FOURIER変換赤外分光法とX線光電子分光法を用いて、薄膜の化学結合と電子構造に対して分析を行い、ガウス分布法を用いて、薄膜中のSP3/SP2雑化Jian比とSP3Cヘテロ接合部の比率を分析した。結果は以下を示す。膜中の水素含有量は比較的高く、主にSP~3C-H形式で存在する。作動圧力が高いほど,C=C結合の含有量が少なくなると,SP3/SP2雑化Jian比とSP3Cヘテロ接合部の比率が増加し,膜の安定性が向上した。UV-VIS分光計を用いて,400~1000NMの波長範囲での薄膜の光吸収特性を得た。A-C;H膜の透過率は98%に達した。光学定数の計算から,4~14PAの圧力範囲で,バンドは2.66~2.76の範囲にあり,作動圧力の増加とともに増加することが分かった。結果により、仕事圧力の上昇により、薄膜内のSP~3結合が減少し、それによって、透過率、光学バンドギャップが増大することが明らかになった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化学結合 ,  体積率 ,  光学ギャップ ,  赤外分光法 ,  光吸収 ,  電子構造 ,  X線光電子スペクトル ,  X線光電子分光法 ,  透過率 ,  正規分布 ,  分光計 ,  *薄膜 ,  光学定数 ,  ヘテロ接合 ,  化学蒸着
準シソーラス用語： *化学構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： α-C: H films ,  chemical bonds ,  transmittance ,  optical band gap ,  LPPCVD

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 化学構造 ,  光学的性質