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J-GLOBAL ID：201702229083486255   整理番号：17A0477817

磁気センサへの応用を目的とした強磁性元素を導入した非晶質炭素薄膜の作製と電磁的特性と評価

著者 (4件)： 山崎哲 (東北大 大学院工学研究科) ,  小助川博之 (東北大 流体科研) ,  三木寛之 (東北大 学際科学フロンティア研) ,  高木敏行 (東北大 流体科研)
資料名： 安全・安心な社会を築く先進材料・非破壊計測技術シンポジウム論文集
巻： 2017  ページ： 17-18  発行年： 2017年03月13日 
JST資料番号： F1224A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 化学的に安定なセンサの開発を目的として,非晶質炭素薄膜(DLC)に金属ナノクラスタをドープしたセンサを開発している。本研究ではDLCにコバルト金属クラスタを含有させることで導電性を持たせたDLC(Co-DLC)を作製し,その電磁的特性を評価し,Co-DLCの磁気センサとして用いる上での知見を得る。化学気相合成法とスパッタリングを組み合わせたハイブリッド成膜法によりCo-DLCを成膜し,成膜時の条件を変えることで,これらの電磁的特性を調節することが可能であることがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *磁気センサ ,  強磁性体 ,  非晶質 ,  炭素材 ,  金属クラスタ ,  ナノクラスタ ,  *DLC膜 ,  *コバルト ,  導電性 ,  化学蒸着 ,  スパッタ蒸着 ,  ハイブリッド方式 ,  薄膜成長 ,  電気抵抗率 ,  *磁化

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (9件)： 磁気センサ ,  応用 ,  強磁性 ,  元素 ,  非晶質 ,  炭素薄膜 ,  作製 ,  電磁的特性 ,  評価