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J-GLOBAL ID：201702229362961033   整理番号：17A0402800

半絶縁性GaAsへのMgおよびPt接触の比較研究:電気的およびXPSによるキャラクタリゼーション【Powered by NICT】

A comparative study of Mg and Pt contacts on semi-insulating GaAs: Electrical and XPS characterization

著者 (10件)： Dubecky F. (Institute of Electrical Engineering, SAS, Dubravska cesta 9, Bratislava, SK-84104, Slovakia) ,  Kindl D. (Institute of Physics CAS, v.v.i., Cukrovarnicka 10, CZ-16200 Prague, Czech Republic) ,  Hubik P. (Institute of Physics CAS, v.v.i., Cukrovarnicka 10, CZ-16200 Prague, Czech Republic) ,  Micusik M. (Polymer Institute, SAS, Dubravska cesta 9, Bratislava, SK-84541, Slovakia) ,  Dubecky M. (Department of Physics, Faculty of Science, University of Ostrava, 30. dubna 22, CZ-70103 Ostrava 1, Czech Republic) ,  Bohacek P. (Institute of Electrical Engineering, SAS, Dubravska cesta 9, Bratislava, SK-84104, Slovakia) ,  Vanko G. (Institute of Electrical Engineering, SAS, Dubravska cesta 9, Bratislava, SK-84104, Slovakia) ,  Gombia E. (IMEM-CNR, Parco area delle Scienze 37/A, Parma, I-43010, Italy) ,  Necas V. (Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, SUT, Ilkovicova 3, Bratislava, SK-81219, Slovakia) ,  Mudron J. (Department of Electronics, Academy of Armed Forces, Demaenova 393, Liptovsky Mikulas, SK-03106, Slovakia)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 395  ページ： 131-135  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 装置側に全面積接触をもつ対称金属SI GaAs金属(M S M)ダイオードの比較研究を提示し,簡単な方法で接触金属の仕事関数の影響を実証した。は従来の高仕事関数Pt接触を比較対低仕事関数Mg接触を調べであった。Pt S Pt,Mg S Mgと混合Mg S Pt構造を電流-電圧測定により評価した,個々のPt-S相互作用とMg-S接触を,X線光電子分光法(XPS)により調べた。Mg S Pt構造の輸送測定は,低バイアスで顕著な電流減少を示すMg S Mg構造はPt S Pt基準に関して一桁以上低い高電圧で飽和電流を示した。Mg含有試料で観測された現象は,M S界面での絶縁性MgO層の存在によって説明されるXPS分析により確認されたように,元素Mgの代わりに,。構造の実効抵抗に及ぼすMgO層の影響の代替説明を提示した。報告された知見はSI GaAsに基づくM-S-Mセンサと放射線検出器への応用の可能性を持っている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線光電子分光法 ,  *キャラクタリゼーション ,  酸化マグネシウム ,  *マグネシウム ,  バイアス ,  対称性 ,  電圧測定 ,  *白金 ,  *ヒ化ガリウム ,  界面 ,  仕事関数
準シソーラス用語： 電荷輸送 ,  飽和電流 ,  *比較研究 ,  *半絶縁性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 半絶縁性GaAs ,  金属-半導体 ,  M-S接触 ,  インタフェイス ,  仕事関数 ,  電荷輸送 ,  XPS

分類 (2件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  吸着の電子論  (CB12042Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 半絶縁性 ,  GaAs ,  Mg ,  Pt ,  研究 ,  XPS ,  キャラクタリゼーション