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J-GLOBAL ID：201702229635752037   整理番号：17A0386072

Fe/Ti系でのTi下部層の酸化状態の,硬X線光電子分光法による研究

Hard x-ray photoemission study of oxidation states of Ti underlayer in Fe/Ti film system

著者 (7件)： Takashima Akito (Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Kouto, Sayo, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Ikenaga Eiji (Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Kouto, Sayo, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Muro Takayuki (Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Kouto, Sayo, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Kawabata Akio (Collaborative Research Team Green Nanoelectronics Center (GNC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan) ,  Murakami Tomo (Collaborative Research Team Green Nanoelectronics Center (GNC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan) ,  Nihei Mizuhisa (Collaborative Research Team Green Nanoelectronics Center (GNC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan) ,  Yokoyama Naoki (Collaborative Research Team Green Nanoelectronics Center (GNC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35  号： 2  ページ： 021507-021507-5  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素ナノチューブ(CNT)を高密度の林状に成長させる上で有効であると最近見出されたFe/Ti触媒系を,硬X線光電子分光法(HAXPES)により研究した。Ti担持層は室温で部分的に酸化されており,高温ではFe上部層から酸素を吸収し,これがCNTの高密度の林状の成長を促進すると,従来から知られていた。本研究の目的は,Ti層の室温での当初の酸化の理由を明らかにすることで,この点は先行する研究の結果からは明らかにされずに残っている。Tiの初期酸化の制御は,それが高温でのFe層の還元と活性化に影響する可能性があるので重要である。異なるX線入射角を用いた深さ方向HAXPES測定により,室温で約3ヶ月経過した試料中の1nm膜厚のTi層の酸化度は,深さに依存して変化していることがわかった。この結果は,Ti層の酸化がFe/Ti薄膜の形成後に進行していることを示唆している。つぎに,Tiの酸化状態に対する時効効果を評価した。Tiの2p_3/2スペクトル測定により,約9ヶ月を経た他の試料での酸化度は,3ヶ月を経た試料より高いことが示された。この結果は,2nm膜厚のFe上部層の存在にも拘わらず,Ti層が酸素を吸収することを示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *鉄触媒 ,  *チタン ,  部分酸化 ,  *担持触媒 ,  *カーボンナノチューブ ,  *薄膜成長 ,  *X線光電子分光法 ,  酸化
準シソーラス用語： 触媒成長 ,  *HAXPES

分類 (3件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  その他の触媒  (CB06123Z) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： Fe ,  Ti ,  下部層 ,  酸化状態 ,  硬X線光電子分光 ,  研究