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J-GLOBAL ID：201702230345469677   整理番号：17A0118234

超薄完全プラズモン吸収体に基づく狭帯域MEMS共鳴赤外検出器【Powered by NICT】

Narrowband MEMS resonant infrared detectors based on ultrathin perfect plasmonic absorbers

著者 (4件)： Qian Zhenyun (Department of Electrical and Computer Engineering, Northeastern University, Boston, MA, USA) ,  Kang Sungho (Department of Electrical and Computer Engineering, Northeastern University, Boston, MA, USA) ,  Rajaram Vageeswar (Department of Electrical and Computer Engineering, Northeastern University, Boston, MA, USA) ,  Rinaldi Matteo (Department of Electrical and Computer Engineering, Northeastern University, Boston, MA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超完全なプラズモン吸収体に基づく狭帯域非冷却マイクロエレクトロメカニカル共鳴赤外検出器の実証について報告した。圧電ナノプレート(480 nm)に深くサブ波長の薄い(230 nm)プラズモン吸収体の統合は,超低体積共鳴熱検出器の中波長赤外放射(半値全幅約4.7μmで92%~800nm)のほぼ完全なと狭帯域吸収を可能にする。優れた熱絶縁(2.4× 10~5 K/W)と共鳴熱検出器の高い電気機械的性能(品質因子,Q 1527と電気機械結合係数kt~2~1.74%)は,高感度と低雑音性能の達成を保証し,赤外分光法および多重スペクトルイメージングシステムに適した高分解能(雑音等価パワー~633pW/Hz~12)狭帯域赤外検出器の実証をもたらした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 赤外線 ,  *共鳴 ,  *吸収体 ,  FWHM ,  *赤外検出器 ,  高感度 ,  *検出器 ,  *狭帯域 ,  圧電気 ,  雑音特性 ,  *MEMS ,  高分解能 ,  *プラズモン ,  サブ波長
準シソーラス用語： 品質因子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズモン ,  吸収体 ,  狭帯域 ,  MEMS ,  共鳴 ,  赤外検出器