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J-GLOBAL ID：201702230501994624   整理番号：17A0515213

回路図投入!バーチャル回路マシンDVD 第5章 機械じかけのワンチップ加速度センサICからイメージ・センサまで μmスケール!3次元ICのチップ内シミュレーション

著者 (3件)： 年吉洋 ,  小西敏文 ,  吉崎智史
資料名： トランジスタ技術
巻： 54  号： 5  ページ： 91-106  発行年： 2017年05月01日 
JST資料番号： L3911A  ISSN： 0040-9413  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LTspiceの高速計算エンジンを利用して解析できるのは電子回路だけではない。μm単位の半導体チップ内部や,機械素子であってもLTspiceに装備された部品モデルを使って解析することができる。LTspiceで機械素子と電子回路を組み合わせてMEMS加速度センサを作製した。LTspiceを利用するとメカと電気をパラメータレベルで設計できるので,開発の初期段階で最終特性の見通しがよくなる。加速度センサの場合,サスペンションなどのこまかな構造の設計をする前に,必要な質量,バネ定数,静電容量変化などのパラメータを抽出し,それに適した構造レイアウトを考える,という手順で作業を進めることができる。

シソーラス用語： シミュレーション ,  *速度センサ ,  集積回路 ,  MEMS
準シソーラス用語： *加速度センサ ,  IC【集積回路】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (10件)： 回路図 ,  投入 ,  バーチャル ,  マシン ,  DVD ,  加速度センサ ,  IC ,  イメージ ,  スケール ,  シミュレーション