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J-GLOBAL ID：201702231269338541   整理番号：17A0529561

CEO_2キャップ層の表面特性と温度依存性を調べた。【JST・京大機械翻訳】

Temperature Dependence of Surface Features for CeO_2 Cap Layers in coated conductors

著者 (8件)： Shi Xiaoliang (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University) ,  Guo Yanqun (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University) ,  Fan Feng (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University) ,  Liu Zhiyong (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University) ,  Bai Chuanyi (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University) ,  Lu Yuming (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University) ,  Tao Bowan (State Key Laboratory of Electronic Thin Film and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Cai Chuanbing (Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors, Physics Department, Shanghai University)
資料名： Diwen Wuli Xuebao  (Diwen Wuli Xuebao)
巻： 38  号： 6  ページ： 21-27  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2352A  ISSN： 1000-3258  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 被覆導体において,多層織構の表面形態,結晶粒度,表面粗さ,粗さ,および密度のような表面特性は,YBA_2CU_3O_(7-Δ)超伝導の核形成,集合組織,表面特性の最適化は,最近の被覆導体のバッファ層の研究の焦点となる。マグネトロンスパッタリング法を用いて,LAMNO_3/EPI-MGO/IBAD-MGO/Y_2O_3/AL_2O_3/ハステロイ C276上に,CEO_2薄膜を被覆した。CEO_2薄膜の表面特性に及ぼす堆積温度の影響を研究した。X線回折,走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,およびRAMAN分光法を用いて,CEO_2薄膜のテクスチャ,微細構造,表面形態,表面粗さ,および表面粗さを特性評価した。研究結果は以下を示す。CEO_2薄膜の表面特性は堆積温度に強く依存した。蒸着温度800°Cで最も良い集合組織と表面が得られ,CEO_2薄膜が最も良い(00L)配向を持ち,面内半値全幅は7であった。1°の粒度は,YBA_2CU_3O_(7-Δ)の最高核形成密度に対応するCEO_2の最適サイズに近く,膜の表面は連続的に均一であり,滑らかで,亀裂は無く4NM;さらに,この_2バッファ層上にトリフルオロ酢酸-金属有機堆積法(TFA-MOD)で成長させたYBA_2CU_3O_(7-Δ)超伝導は,良好なテクスチャと緻密な表面を有する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜 ,  超伝導 ,  バッファ層 ,  FWHM ,  核形成 ,  *表面性状 ,  マグネトロンスパッタリング ,  粒度 ,  集合組織 ,  ハステロイ ,  結晶粒度
準シソーラス用語： テクスチャ ,  表面形態 ,  被覆導体 ,  *キャップ層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： magnetron sputtering ,  deposition temperature ,  CeO_2 ,  surface feature

分類 (3件)： 超伝導材料  (BM04041W) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： キャップ層 ,  表面特性 ,  温度依存性