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J-GLOBAL ID：201702233119268283   整理番号：17A0736542

圧電薄膜特性パラメータの測定方法【JST・京大機械翻訳】

Measurement Methods for Piezoelectric Coefficient of Piezoelectric Thin Films

著者 (3件)： WANG Qing-ping (Hubei University of Education, Physics & Electronics Dept.) ,  FAN Yue-nong (Jingdezhen Ceramic Institute, Mechanism &Electronics Dept.) ,  JIANG Sheng-lin (Dept. of Electronic Science and Technology, Engineering Research Centre for Functional Ceramics MOE Huazhong University of Science and Technology)
資料名： Yadian yu Shengguang  (Yadian yu Shengguang)
巻： 31  号： 4  ページ： 608-612  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2465A  ISSN： 1004-2474  CODEN： YASHE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 電子部品の小型、高感度、集積などの方向の発展に従い、薄膜材料とデバイスはマイクロコンピュータ電気(MEMS)システムに広く応用されているが、圧電薄膜の特性パラメータを測定する方法は体材料と比べて大きく異なる。圧電薄膜の特性パラメータを測定するための2つの方法を紹介した。直接測定法(腔圧力法、カンチレバー法、レーザー干渉法とレーザードップラー法)と間接測定法(従来のインピーダンス分析法)を含み、これらの方法の基本原理、試験特性、応用状況及び存在する問題を詳細に分析し、これらの方法のメリットとデメリットを比較した。また,将来の圧電薄膜の特性パラメータの試験特性を予測した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高感度 ,  材料 ,  間接測定 ,  マイクロコンピュータ ,  片持梁 ,  電子部品 ,  インピーダンス ,  *MEMS
準シソーラス用語： レーザDoppler ,  直接測定 ,  薄膜材料 ,  *ピエゾフィルム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： piezoelectric thin film ,  piezoelectric coefficient ,  measurement methods

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電薄膜 ,  特性パラメータ ,  測定方法