文献

J-GLOBAL ID：201702233819530968   整理番号：17A0547356

スパッタリング法による(Cr_xFe_1-x)₂O₃薄膜およびCr₂O₃/Fe₂O₃積層膜の作製及び結晶構造解析

著者 (8件)： 福井慎二郎 (日本大 理工) ,  隅田貴士 (日本大 理工) ,  橋本浩佑 (日本大 理工) ,  平戸剛志 (日本大 理工) ,  柳原康宏 (日本大 理工) ,  永田知子 (日本大 理工) ,  山本寛 (日本大 理工) ,  岩田展幸 (日本大 理工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.14a-213-10  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化クロム ,  *鉄添加合金 ,  *酸化鉄 ,  *スパッタリング ,  *多層膜 ,  *製造 ,  *結晶構造解析 ,  基板 ,  格子整合 ,  X線回折
準シソーラス用語： XRD ,  サファイア基板 ,  *積層膜 ,  *薄膜作製

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  その他の無機化合物の結晶構造  (BK07030J)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタリング法 ,  薄膜 ,  Cr2O3 ,  Fe2O3 ,  積層膜 ,  作製 ,  結晶構造解析