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J-GLOBAL ID:201702233842583377   整理番号:17A0142398

ナノ炭素薄膜印刷のための液滴発生装置の開発【Powered by NICT】

Development of a droplet generation equipment for nano carbon thin films printing
著者 (5件):
資料名:
巻: 2016  号: 3M-NANO  ページ: 388-391  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノ炭素薄膜は,高度マイクロエレクトロニクスにおける大きな応用の可能性がある。しかし,膜作製手法は望ましくない。ナノ炭素薄膜を印刷するための均一液滴噴霧装置を提案した。ナノカーボン懸濁液インクのドロップオンデマンド(DOD)液滴発生器と均一液滴噴霧装置は,ナノカーボン薄膜を印刷するために開発した。ノズルの容易な洗浄特性及び変化を採用した交換可能なノズルの設計。均一ナノカーボン薄膜を作製し,これはナノカーボン薄膜を印刷する低コストで迅速な方法を提供した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
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