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J-GLOBAL ID:201702234971305002   整理番号:17A0260408

泡生高さサファイアの単結晶に及ぼするつぼの高さの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effects of crucible H/D ratio on large size Kyropoulos sapphire single crystal
著者 (5件):
資料名:
巻: 33  号:ページ: 599-605  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2979A  ISSN: 1000-2618  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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本論文では,高さと直径比がそれぞれ1.36と1.50の二つのグループの炉内の軸方向,半径方向温度勾配と流動状態を研究した。結晶成長実験を二つのるつぼで行い,成長させた結晶を掏棒と切片を用いて,応力と気泡の検出を行い,ウエハの転位と双晶ロッキングカーブを測定した。理論計算と実験結果により、縦横温度変化が一次関数を近似し、しかも縦横温度勾配作用下の面の角度が45°~60°のとき、応力を有効に低減し、亀裂確率を減少させることができることが分かった。溶融物の内部に渦が存在するとき,結晶気泡を効果的に減少させることができた。坩堝の高さが1.36であるとき,転位密度を効果的に減少させ,結晶性を向上させることができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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酸化物の結晶成長 

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