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J-GLOBAL ID：201702235694141481   整理番号：17A0534902

半導体製造向けの大データ解析プラットフォーム【JST・京大機械翻訳】

Big data analysis platform for semiconductor manufacturing

著者 (5件)： Yang Jungang (School of Mechanical Engineering,Shanghai Jiaotong University) ,  Zhang Jie (School of Mechanical Engineering,Shanghai Jiaotong University) ,  Qin Wei (School of Mechanical Engineering,Shanghai Jiaotong University) ,  Zhang Qihua (Semiconductor Manufacturing International Corporation) ,  Kang Sheng (Semiconductor Manufacturing International Corporation)
資料名： Jisuanji Jicheng Zhizao Xitong  (Jisuanji Jicheng Zhizao Xitong)
巻： 22  号： 12  ページ： 2900-2910  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2700A  ISSN： 1006-5911  CODEN： JJZXFN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 半導体製造プロセスの大量データを十分に利用し、データに含まれる価値を発掘するため、半導体製造プロセスに対して分析、予測と制御を行い、半導体製造の大データ分析プラットフォームを構築した。半導体製造プロセスにおける大きなデータの特性を要約し,半導体製造の大規模データ解析システムアーキテクチャを提案し,その主要技術と実現方法を分析した。半導体製造プロセスにおける大規模データの使用特性に従い,データの導入,重複,スクリーニング,標準化などの共通操作をプラットフォーム汎用汎用に分類した。前処理後のデータはデータストリームに入り、データウェアハウスではテーマに従って組織を行う。最上位の専用処理アルゴリズム層は,上位アプリケーションの特定のデータ要求に応じて,データウェアハウスからデータを抽出し,専用アルゴリズムを用いて処理を行い,標準化,信頼性,再用のデータ資源を提供する.最後に,半導体製造企業の実際の状況に基づいてプロトタイプシステムを構築し,半導体製造プロセスにおける多くの実際のデータを導入し,貯蔵,組織,および前処理を行い,性能試験と統計解析アルゴリズムをテストしたData from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 前処理 ,  *データ解析 ,  応用プログラム ,  半導体プロセス ,  スクリーニング ,  データウェアハウス ,  システムアーキテクチャ ,  再利用 ,  標準化 ,  アルゴリズム ,  性能試験 ,  改変
準シソーラス用語： 解析アルゴリズム ,  データストリーム ,  大規模データ ,  *半導体製造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： big data ,  manufacturing process data ,  semiconductor manufacturing ,  distributed processing ,  Hadoop

分類 (1件)： データベースシステム  (JD03030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 半導体製造 ,  データ解析 ,  プラットフォーム