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J-GLOBAL ID：201702236156638686   整理番号：17A0176417

4分の1波長板に基づく位相同期位相シフト干渉測定法を提案した。【JST・京大機械翻訳】

Method of Fizeau Simultaneous Phase-Shifting Interferometry Based on Quarter-Wave Plate

著者 (6件)： Jiang Chao (School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology) ,  Guo Renhui (School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology) ,  Zhang Huiqin (School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology) ,  Zhou Xiang (School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology) ,  Zheng Donghui (School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology) ,  Chen Lei (School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology)
資料名： Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan  (Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan)
巻： 53  号： 10  ページ： 101203-1-101203-7  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2698A  ISSN： 1006-4125  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 干渉測定平面の耐震を実現するために,同期位相シフト干渉測定方式を提案し,実験装置を構築した。全体の測定システムは,位相シフト干渉計に基づいて,1つの直交偏光を得て,1つの直交偏光を得るために,1つの直交偏光を得て,理想的格子の回折効率に一致する(±1,±1)級衍光を測定した。位相遅延アレイと偏光により,4つの移のΠ/2の干渉図を得た。従来の4ステップ位相シフトアルゴリズムに従って,測波面を復元した。システムの測定誤差に及ぼす位相シフトと位相シフト誤差の影響を解析した。赤同期位相シフト干渉測定と比較して,この方式は,システム構造を単純化し,システム誤差を低減し,さらに,キャリブレーションを容易にすることができ,平面の測定により適している。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 波面 ,  *位相同期 ,  *干渉 ,  測定誤差 ,  回折効率 ,  *位相シフト ,  計測システム ,  システム構造 ,  *干渉測定 ,  偏光
準シソーラス用語： 位相遅れ ,  直交偏光 ,  位相シフト干渉計 ,  *位相シフト干渉法 ,  *四分の一波長板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： measurement ,  optical measurement ,  Fizeau interferometer ,  simultaneous phase shift ,  quarter-wave plate ,  grating

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 4分の1波長板 ,  位相同期 ,  位相シフト干渉測定 ,  提案