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J-GLOBAL ID：201702236380548573   整理番号：17A0381492

Nano-DMAと分子動力学を用いたMEMSのためのパリレン薄膜の粘弾性の比較研究【Powered by NICT】

Comparative study of the viscoelasticity of parylene thin films for MEMS using Nano-DMA and Molecular Dynamics

著者 (5件)： Sui Wenshu (The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR) ,  Duvieusart Maxime S. (The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR) ,  Zhao Junhua (Jiangnan University, Wuxi, China) ,  Tai Yu-Chong (California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125, USA) ,  Lee Yi-Kuen (The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 468-471  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Nano-DMA(動的機械分析)と分子動力学(MD)シミュレーションを用いてパリレンC(PPXC)の粘弾性の比較研究を行った。種々の温度と周波数でPPXC膜上の正弦波荷重を適用することにより,PPXCの複素弾性率とガラス転移温度(T_g)が得られた。MDモデルにおける温度依存性密度変化から決定された予測T_gは著者らの測定および以前の研究結果と一致した。さらに,時間-温度重合せ原理(TTSP)を用いて,初めて,PPXCのマスター曲線はバイオMEMSデバイスのパリレン信頼性研究に重要なを決定することに成功した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 複素弾性率 ,  *分子動力学 ,  ガラス転移点 ,  *粘弾性 ,  *MEMS ,  温度依存性 ,  信頼性 ,  正弦波 ,  *薄膜 ,  重合せ ,  動的機械分析
準シソーラス用語： バイオMEMS ,  マスタ曲線 ,  *比較研究 ,  *Parylene , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 分子動力学 ,  MEMS ,  パリレン ,  薄膜 ,  粘弾性 ,  研究