文献

J-GLOBAL ID：201702236454725348   整理番号：17A0730857

MEV HE~+イオン注入ZNO結晶の光導波路特性の研究【JST・京大機械翻訳】

Characterization of Optical Waveguide in ZnO Crystal Formed by MeV Helium Ion Implantation

著者 (7件)： Ming Xianbing (School of Information Science and Engineering, Shandong University) ,  Lu Fei (School of Information Science and Engineering, Shandong University) ,  Liu Hanping (School of Information Science and Engineering, Shandong University) ,  Wang Lei (School of Physics, Shandong University) ,  Hou Dongchao (School of Physics, Shandong University) ,  Liu Xiangzhi (School of Information Science and Engineering, Shandong University) ,  Zhang Ruifeng (School of Information Science and Engineering, Shandong University)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 36  号： 2  ページ： 453-457  発行年： 2009年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 2×10(16) /CM2HE+イオンを室温で照射することにより,ZNOの光導波路を形成した。焼なまし前後にプリズム結合法を用いて633NMのレーザー波長で導波路のダーク特性を測定し、空気中で適当なアニーリング後にダークが消失し、格子の損傷が減少し、更なるアニール処理が格子の損傷を完全に回復させることができることを発見した。TRIM 2003プログラムを用いて、2.0MEV HE+イオンがZNO結晶に注入される過程をシミュレーションし、酸化亜鉛の損傷分布と貫通深さの関係曲線を得て、反射計算法を用いてイオン注入導波路の屈折率分布を再構築し、屈折率の増加を発見した。イオン距離の末端に屈折率が低下する光学障壁があり、結果により、屈折率分布曲線と損傷分布曲線は非常に似ており、これは核衝突による格子損傷が光導波路を形成する主な原因であることを示している。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 再構成 ,  焼なまし ,  *導波路 ,  *イオン注入 ,  屈折率 ,  プリズム ,  酸化亜鉛 ,  *結晶 ,  *イオン ,  レーザ ,  屈折率分布 ,  *光導波路 ,  波長

著者キーワード (5件)： guided-wave optics ,  optical waveguide ,  refractive-index profile ,  ion implantation ,  zinc oxide

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン注入 ,  ZnO ,  結晶 ,  光導波路 ,  研究