文献

J-GLOBAL ID：201702236641188888   整理番号：17A1374956

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第5報)-PCVM加工における加工変質層が及ぼす加工特性への影響の評価-

著者 (8件)： 小林勇輝 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  荒川翔平 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 東海事業セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M35  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたNC-PCVMにより,中性子顕微鏡に用いる合成石英製Wolter I型ミラーマンドレルの作製に取り組んでいる。PCVMは化学反応を利用した加工法であるため,対象に加工変質層がある場合,そこを起点として優先的にエッチングが進行する。このため,加工速度や加工後の表面粗さに影響することが懸念される。本報では,PCVMによる形状修正において,変質層の有無と加工特性の相関について定量的に評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： 中性子ビーム ,  精密加工 ,  *反射鏡 ,  *マンドレル ,  *プラズマ加工 ,  加工変質層 ,  加工性 ,  評価 ,  *数値制御 ,  *基板 ,  加工 ,  *形状精度 ,  *表面粗さ ,  定量分析 ,  断面 ,  *石英ガラス
準シソーラス用語： 高精度 ,  *Wolterミラー ,  *PCVM ,  影響評価 ,  石英基板 ,  形状加工

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (2件)：

• D. Liu, et al., Nat. Commun. 4 (2013) 2556.
• 小林勇輝 他,2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (2017) 973-974.

タイトルに関連する用語 (8件)： 中性子 ,  集光 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  作製 ,  加工変質層 ,  加工特性 ,  影響の評価