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J-GLOBAL ID：201702237388325164   整理番号：17A0618897

2段階異方性エッチングによる窒化ガリウム多孔質構造の形成と形状制御

著者 (3件)： 佐藤威友 (北大) ,  熊崎祐介 (北大) ,  松本悟 (北大)
資料名： 電気化学会大会講演要旨集(CD-ROM)
巻： 84th  ページ： ROMBUNNO.1F06  発行年： 2017年03月17日 
JST資料番号： Y0048B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *エッチング ,  *窒化ガリウム ,  光学的性質 ,  光電気化学 ,  走査電子顕微鏡 ,  キャラクタリゼーション ,  細孔構造 ,  反射率 ,  細孔径 ,  光電気化学特性
準シソーラス用語： *異方性エッチング ,  光学特性 ,  光反射率 ,  多孔質構造

分類 (2件)： 電極過程  (CB07040U) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 段階 ,  異方性エッチング ,  窒化ガリウム ,  多孔質構造 ,  形状制御