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J-GLOBAL ID:201702237388325164   整理番号:17A0618897

2段階異方性エッチングによる窒化ガリウム多孔質構造の形成と形状制御

著者 (3件):
資料名:
巻: 84th  ページ: ROMBUNNO.1F06  発行年: 2017年03月17日 
JST資料番号: Y0048B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
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電極過程  ,  半導体の結晶成長 
タイトルに関連する用語 (5件):
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