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J-GLOBAL ID:201702237751788904   整理番号:17A0885903

FEL応用のための能動的でスリムなエッジ平面検出器の設計と最初の特性化【Powered by NICT】

Design and First Characterization of Active and Slim-Edge Planar Detectors for FEL Applications
著者 (6件):
資料名:
巻: 64  号:ページ: 1062-1070  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0235A  ISSN: 0018-9499  CODEN: IETNAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,自由電子レーザ(FEL)施設でのX線イメージング応用に使用されるピクセル端なしセンサの製作のための専用技術の開発について報告した。プロセスは,収集速度,空間分解能,および耐放射線性の観点におけるタイトFELアプリケーション要求に適した平面センサを作製する目的で開発した。同時に,センサの境界で不活性面積を減らすために,大面積撮像装置におけるいくつかの金型を耕すとき,導入された情報と歪みの損失を最小化した。TCADシミュレーションの助けを借りて設計された,異なる活性エッジとスリムエッジ終端を考察した。数値シミュレーションに基づいて,ウエハレイアウトを設計し,異なる配置をもつデバイスを作製した。生成したpオンnセンサと試験構造の電気的特性からの実験結果を示し,議論した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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放射線検出・検出器 

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