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J-GLOBAL ID：201702240573642242   整理番号：17A0144059

SU-8フォトレジスト微細加工技術に基づいたサブミリ波方形導波管【Powered by NICT】

Submillimetre rectangular waveguides based on SU-8 photoresist micromachining technology

著者 (6件)： Glynn David (School of Electronic, Electrical and System Engineering, The University of Birmingham) ,  He Tianhao (School of Electronic, Electrical and System Engineering, The University of Birmingham) ,  Powell Jeff (School of Electronic, Electrical and System Engineering, The University of Birmingham) ,  Tian Yingtao (School of Electronic, Electrical and System Engineering, The University of Birmingham) ,  Shang Xiaobang (School of Electronic, Electrical and System Engineering, The University of Birmingham) ,  Lancaster Michael J. (School of Electronic, Electrical and System Engineering, The University of Birmingham)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： EuMC  ページ： 1346-1349  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 矩形導波路を用いたミリ波・サブミリメートル波長での信号の伝送のための基本的な構造である。層状SU-8フォトレジスト微細加工技術に基づく二方形導波管の設計と測定結果を記述し,層の間の空気ギャップを最小化するための二重層作製技術であった。SU-8フォトレジスト微細加工法の簡単な記述を示した。両方とも3ピース構成をもつ層状SU-8で作られているもう一つはWR,6バンド120GHzの170GHzである一つの導波路は220GHzから325GHzにWR-3帯で実証した。測定装置に接続するため,両導波路は新しい曲がりを有していた。測定した性能を提示し,従来の機械加工金属導波路構造と比較した。両バンドにおけるSU-8導波路のための測定した挿入損失が0.03dB/mmよりも良好であった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 導波路 ,  *サブミリ波 ,  *フォトレジスト ,  計測器 ,  *方形導波管 ,  機械工作 ,  *EHF波 ,  *微細加工 ,  挿入損 ,  磁気ギャップ
準シソーラス用語： 二重層 ,  *微細加工技術 ,  *SU-8 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 導波管,同軸線路  (NC04040N) ,  その他の伝送回路素子  (NC04070U)

タイトルに関連する用語 (5件)： SU-8 ,  フォトレジスト ,  微細加工技術 ,  サブミリ波 ,  方形導波管