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J-GLOBAL ID：201702240694381555   整理番号：17A0406408

MEMS共振デバイスのための新しい三角電極ベースの静電容量センシング法【Powered by NICT】

A novel triangular-electrode based capacitive sensing method for MEMS resonant devices

著者 (5件)： Ma Wei (Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China) ,  Lin Yiyu (Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China) ,  Zheng Xudong (Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China) ,  Liu Yidong (Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China) ,  Jin Zhonghe (Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 252  ページ： 233-241  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新しい容量センシング法を報告し,正弦波運動における振幅と位相情報の両方のための正確で自己較正測定を可能にした。アプローチは三角電極に基づく(TEB)可変領域意味キャパシタの固有の非線形性を利用する建設的に。TEB検出信号の場合,二高調波が存在し,各々は運動振幅と位相についての情報を持っている。TEB法はロバスト二側波帯振幅の比から運動振幅を抽出した後,二側波帯相の減算から運動相を抽出した。技術であるMEMS共振デバイスにおける周期運動の容量性検出のための特に有用な共振加速度計とCoriolis振動ジャイロなど。本論文では,詳細な理論的解析を提示し,FPGAデバイスに実装された実時間測定アルゴリズムを提案した。実験結果は,従来の線形法と比較して,システムパラメータ変動に対する測定した振幅と位相の感度は95~%の高い抑制であることを明らかにした。,微細加工振動ジャイロスコープのために導入したTEB容量検出を用いた振動制御システム。最初の測定結果は,駆動変位の振幅変動は1時間に120ppmである位相変化は80ppmであるが示した。Allan分散解析は,ジャイロスコープ出力のための6.5°/hのバイアス不安定性を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 線形性 ,  側波帯 ,  高調波 ,  *共振 ,  位相シフト ,  位相 ,  微細加工 ,  加速度計 ,  ロバスト性 ,  正弦波 ,  振動制御 ,  ジャイロスコープ ,  非線形性 ,  *MEMS
準シソーラス用語： パラメータ変動 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 容量性センシング ,  容量性検出 ,  三角電極 ,  自己キャリブレーション ,  MEMS共振デバイス

分類 (4件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  共振 ,  三角 ,  静電容量センシング