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J-GLOBAL ID：201702240748669991   整理番号：17A0118156

誘電体堆積過程におけるプラズマ診断【Powered by NICT】

Plasma diagnostics in dielectric deposition processes

著者 (2件)： Schulz Christian (Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany) ,  Rolfes Ilona (Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,その場プラズマプローブ,堆積過程の困難な環境において正確に測定することができる,を提示した。臨界パラメータ,プロセス制御に必要なを決定するために,プローブをプラズマ中に挿入した。プローブ上に吸着した,堆積した誘電体材料の影響を3次元電磁場シミュレーションによる多数の擬堆積プロセスの範囲で調べた。,吸着材料は二種類の損失正接の相対誘電率と層厚さで変化させた。対応する評価は,適合性とこれらのシミュレーション内のプローブの可能性を実証した。TiO_2を析出させ,アルゴン-酸素プラズマにおける最終測定はプローブの非感受性を確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 吸着剤 ,  プロセス制御 ,  三次元 ,  *プラズマ診断 ,  損失正接 ,  プローブ ,  電磁場 ,  プラズマ探針 ,  誘電率 ,  *プラズマ ,  臨界パラメータ ,  適応性 ,  誘電材料 ,  *誘電体
準シソーラス用語： 酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 誘電体一般  (BM05010F) ,  絶縁材料  (NA04030W) ,  誘電体測定技術・装置  (BM05020Q)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘電体 ,  堆積過程 ,  プラズマ診断