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J-GLOBAL ID：201702240767653462   整理番号：17A0200016

改良モアレ技術を採用した大口径,高効率,Fresnel製造回折膜光の低コスト法【Powered by NICT】

Low-cost method of fabricating large-aperture, high efficiency, Fresnel diffractive membrane optic using a modified moire technique

著者 (7件)： Zhang Jian (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China) ,  Li Mengjuan (Beijing Institute of Space Mechanics & Electricity) ,  Yin Ganghua (Beijing Institute of Space Mechanics & Electricity) ,  Jiao Jianchao (Beijing Institute of Space Mechanics & Electricity) ,  Liu Zhengkun (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China) ,  Xu Xiangdong (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China) ,  Fu Shaojun (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China)
資料名： Zhongguo Guangxue Kuaibao(Yingwenban)  (Zhongguo Guangxue Kuaibao(Yingwenban))
巻： 14  号： 10  ページ： 100501_01-100501_05  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2637A  ISSN： 1671-7694  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コストを低減し,高い回折効率を達成するために,アラインメントマークの新しい設計による大口径マルチレベルFresnel膜光学系を作製するための修正したモアレ技術を提案した。改良モアレ干渉縞は,実際の不整合をもつより敏感に変化した。,アラインメント精度は著しく改善された。提案した方法を用いて,200mm直径の厚さ20μm,四レベルFresnel回折ポリイミド膜光を行った,これは62%の回折効率+1次へ,および0.051の効率根平均二乗を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 干渉縞 ,  *大口径 ,  回折効率 ,  不整合 ,  光学系 ,  *回折 ,  *モアレ ,  Fresnel回折
準シソーラス用語： マルチレベル ,  *高効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： モアレ ,  採用 ,  大口径 ,  高効率 ,  回折