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J-GLOBAL ID：201702240831109848   整理番号：17A0737688

分布フィードバック量子カスケードレーザの格子調製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of gratings in the distributed feedback quantum cascade lasers

著者 (5件)： Li Yao-yao (Graduate School of the Chinese Academy of Sciences) ,  Xu Gang-yi (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences) ,  Zhang Yong-gang (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences) ,  Li Ai-Zhen (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences) ,  Wei Lin (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Gongneng Cailiao yu Qijian Xuebao  (Gongneng Cailiao yu Qijian Xuebao)
巻： 15  号： 5  ページ： 471-476  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2096A  ISSN： 1007-4252  CODEN： GCQXFW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ホログラフィック露光法を利用して、分布フィードバック量子カスケードレーザーの格子マスクを作製し、INGAAS材料の適切なエッチング腐食プロセスを選択し、発展させ、腐食メカニズムを得て、腐食メカニズムを検討した。量子カスケードレーザのIN-GAAS/INP層上に格子を分布させ、分布フィードバック量子カスケードレーザーを得、そのシングルモード特性は比較的に良く、SN比は30DBより大きい。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  SN比 ,  *フィードバック ,  腐食 ,  *量子カスケードレーザ ,  腐食機構 ,  露光 ,  単一モード

著者キーワード (3件)： distributed feedback lasers ,  holographic lithography ,  fabrication of gratings

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分布 ,  フィードバック ,  量子カスケードレーザ ,  格子 ,  調製