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J-GLOBAL ID：201702241181029361   整理番号：17A0400989

薄膜太陽電池応用のためのモリブデン二層薄膜からのMoO_xナノベルトの成長【Powered by NICT】

Growth of MoO_x nanobelts from molybdenum bi-layer thin films for thin film solar cell application

著者 (12件)： Chelvanathan Puvaneswaran (Solar Energy Research Institute, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Rahman Kazi S. (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Hossain Mohammad I. (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Hossain Mohammad I. (Qatar Environment and Energy Research Institute, Qatar Foundation, Doha, Qatar) ,  Rashid Haroon (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Samsudin Norazlynda (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Mustafa Siti Nurlieza (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Bais Badariah (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Akhtaruzzaman Md (Solar Energy Research Institute, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Amin Nowshad (Solar Energy Research Institute, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Amin Nowshad (Department of Electrical, Electronic and System Engineering, FKAB, Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Amin Nowshad (Qatar Environment and Energy Research Institute, Qatar Foundation, Doha, Qatar)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 621  ページ： 240-246  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,DCスパッタMo二層の上で実行される空気アニーリングにより成長させたMoO_xナノベルトの特性を明らかにした。モリブデン薄膜は室温で100WのDC電力を用いたDCマグネトロンスパッタリングにより堆積した。最初の層はより高い圧力でスパッタされた接着が第二層は,低い圧力でスパッタした膜の伝導率を増加させることであったを促進した。スパッタMo膜は空気中で500°Cでアニールした30minから150minまでの範囲の持続時間であった。成長させた積層構造は,構造的および電気的性質を明らかにするために走査型電子顕微鏡(SEM),X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(A FM)とHall効果測定により特性化した。スパッタMo膜の厚さは1μmの範囲であった。全ての蒸着したMo膜は「スコッチテープ」ソーダ石灰ガラス基板との良好な接着を示すを通過し,優先結晶方位をXRD測定から(110)と(211)であることが分かった。形成されたMoO_x化合物は主としてXRDスペクトルからみたMoO_3とMo_4O_11。しかし,MoO_3は(021)の優先配向を持つ支配的な相であった。MoO_xの結晶度は,大気Mo膜が,厚いMoO_x層を生成へのアニーリング時間O_2の高い拡散を示すと共に増加した。A FMによりプローブした表面トポロジーは均一な表面を示し,アニーリング時間が増加しているとしてより大きな結晶粒クラスタが生成した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *モリブデン ,  走査電子顕微鏡 ,  焼なまし ,  キャラクタリゼーション ,  優先配向 ,  X線回折 ,  結晶粒 ,  ソーダ石灰ガラス ,  積層構造 ,  結晶度 ,  原子間力顕微鏡 ,  結晶方位
準シソーラス用語： *ナノベルト ,  *二層 ,  *薄膜太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 薄膜 ,  Mo薄膜 ,  Mo二層 ,  スパッタリング ,  MoO_xナノベルト ,  アニーリング

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜太陽電池 ,  応用 ,  モリブデン ,  薄膜 ,  ナノベルト ,  成長