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J-GLOBAL ID:201702241431556577   整理番号:17A0289843

フラットパネルディスプレイのためのEAPSMのPS材料の比較研究

Comparative Study on PS Material of EAPSM for Flat Panel Display
著者 (8件):
資料名:
巻: 9985  ページ: 998512.1-998512.10  発行年: 2016年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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フラットパネルディスプレイ(FPD)用の適当なシフト材料を見つけるために,i-ライン5.2%Crベースの埋め込み減衰位相シフトマスク(EAPSM)とi-ライン5.2%MoSiベースのEAPSMを評価して比較した。評価項目は,CD線形性,位相シフト,および波長が200~800nmの範囲の透過率,反射率,吸収などの光学特性である。性能はG6マスク(800mm×920mm)上で評価,比較した。両EAPSM材料による光学特性のシミュレーション結果は,大きな差は生じなかった。そのため,製造のしやすさからL&Sパターン型マスクにはi-ライン5.2%CrベースのEAPSMが,接触パターン型マスクにはi-ライン5.2%MoSiベースのEAPSMが多く使用される。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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