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J-GLOBAL ID：201702241708001856   整理番号：17A0406410

石英法に及ぼすけい素に基づく微細加工微分共鳴加速度計【Powered by NICT】

A micro-machined differential resonance accelerometer based on silicon on quartz method

著者 (7件)： Li Cun (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China) ,  Zhao Yulong (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China) ,  Li Bo (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China) ,  Cheng Rongjun (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China) ,  Sun Dengqiang (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China) ,  Han Chao (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China) ,  Zhao You (State Key Laboratory for Manufacturing System Engineering, School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi Province, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 253  ページ： 1-9  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンバネ-質量と水晶ダブルエンド型音叉(Q DETF)共振器を用いた差動構成を空気中で作動する微小共鳴加速度計を述べた。加速度検出方向に適用した場合,プルーフマスの慣性力はQ DETFs,Q DETFsの共振周波数をシフトさせるに及ぼす軸力を適用する。示差条件で作動する二重Q DETFsは正方形プルーフマスの対角線に沿った試験質量厚さの中では同一面内に結合していた。配置は加速検出方向の印加した場合,プルーフマスの慣性力はQ DETF歯の軸に沿って印加したであるという利点があり,検出方向の加速度により誘導されたDETFの曲げが非常に小さく,無視できることを,これはセンサ非線形性を向上させることができる。センサの高度に対称的な配置はコモンモード障害,特に温度と残留応力の大部分を除去できる。感度に関する理論的解析を実施し,その結果は実験データと良く一致した。センサは地球重力場における回転実験を用いて空気中で作製し,特性化した。±1gの実験範囲では,試験した感度,非線形性とヒステリシスは6.317Hz/g,0.26%と0.09%であった。12時間でセンサの安定性も温度乱流と残留応力の影響下の空気中で試験し,センサ出力のドリフトは0.5Hz以下であった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  乱流 ,  対称性 ,  *ケイ素 ,  *加速度計 ,  *加速度 ,  *微細加工 ,  キャラクタリゼーション ,  センサ ,  音叉 ,  残留応力 ,  慣性力 ,  ヒステリシス ,  非線形性 ,  *石英

著者キーワード (4件)： 共鳴加速度計 ,  石英DETF ,  石英(SOQ)上のシリコン ,  微分構造

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 石英 ,  けい素 ,  微細加工 ,  微分 ,  共鳴 ,  加速度計