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J-GLOBAL ID：201702242040243902   整理番号：17A0881524

パラジウムナノ粒子で官能化した単一浮遊炭素ナノワイヤのアレイに基づく自己加熱水素ガスセンサ【Powered by NICT】

Self-heating hydrogen gas sensor based on an array of single suspended carbon nanowires functionalized with palladium nanoparticles

著者 (3件)： Seo Junyoung (Department of Mechanical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea) ,  Lim Yeongjin (Department of Mechanical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea) ,  Shin Heungjoo (Department of Mechanical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology (UNIST), Ulsan, Republic of Korea)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 247  ページ： 564-572  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 室温H_2ガスセンシングのための種々のサイズのPdナノ粒子(PdNPs)で修飾した単一懸垂炭素ナノワイヤ(直径~200nm,長さ~100μm)のアレイに基づく新しい水素ガスセンサの開発を報告した。これらのセンサは高感度,広い検出範囲(10ppm 5%),超低電力消費(30μW)で5s以内に完全なガス応答回復を提供した。そのような性能は,新規懸濁PdNP/炭素ナノワイヤ構造,増強された物質移動,体積比高表面積,そして良好な熱絶縁を用いて達成した。このプラットフォームは炭素MEMSと電着を含む簡単なバッチ微細加工プロセスを用いて作製することができた。センサの感度と範囲はPdナノ粒子サイズ(3 5nm PdNPs: 3.2% ppm~ 1/2, 10 1000ppm; 10 15nm PdNPs: 0.32% ppm~ 1/2, 700ppm 5%)を制御することにより調節することができた。広いセンシング範囲はチップ上に様々なサイズPdNPのナノワイヤを統合することによって達成された。懸濁PdNP/炭素ナノワイヤの電気抵抗は,超低消費電力,Joule熱ベース自己加熱による非常に短時間でその元の状態を回復する迅速かつ完全に。これは再現性があり,長期耐久性ガスセンシングを可能にした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高感度 ,  *ナノワイヤ ,  体積率 ,  *ナノ粒子 ,  電着 ,  *水素 ,  *官能化 ,  *ガスセンサ ,  再現性 ,  *炭素 ,  微細加工 ,  物質移動 ,  MEMS
準シソーラス用語： *自己加熱 ,  *カーボンナノワイヤ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 水素ガスセンサ ,  懸濁炭素ナノワイヤ ,  Pdナノ粒子 ,  炭素 MEMS ,  自己加熱

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： パラジウムナノ粒子 ,  官能化 ,  浮遊 ,  炭素ナノワイヤ ,  アレイ ,  自己加熱 ,  水素ガス