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J-GLOBAL ID：201702242100345401   整理番号：17A0142323

大ストロークを用いた圧電駆動3自由度フレキシブルのナノポジショナの設計と評価【Powered by NICT】

Design and assessment of a piezo-actuated 3-DOF flexible nanopositioner with large stroke

著者 (8件)： Gao Jian (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Zeng Zhaohe (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Tang Hui (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Xin (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Qiu Qian (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  He Sifeng (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  He Yunbo (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Yang Zhijun (Department of Mechatronic Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： 3M-NANO  ページ： 19-24  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ位置決め機構のための大ストローク,高精度の間の矛盾を解決するために,新しい3自由度フレキシブルナノ位置決め装置を提案した。ナノ位置決め装置は機構作業空間を高めるために伝統的なレバー増幅器の代わりに三対修正微分レバー変位増幅器(MDLDA)を用いた。同時に,機構は大きなストローク,高い分解能と駆動成分として制御に容易によって特徴づけられることを圧電アクチュエータを使用した。特殊な方法,機構をする円筒のちょうつがいを通る移動プラットフォームに接続された柔軟な増幅器はコンパクトな構造と良好な機械的性質を示すことが分かった。一連の機構最適設計の後,設計したナノ位置決め装置の性能を有限要素解析(FEA)法を用いて検証した。実験結果は機構変位増幅比は7.1に達することを示し,最大出力変位は約0.71mmを達成でき,増幅比は入力応力または入力変位変動の影響を受けない。全ての結果は一貫して提案した素子は実用的な精密加工・操作仕事を充実するために十分な性能を持つ証明した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 作業空間 ,  位置決め ,  最適設計 ,  増幅器 ,  精密加工 ,  円筒 ,  *自由度 ,  ヒンジ ,  分解能
準シソーラス用語： 増幅率 ,  有限要素解析 ,  圧電アクチュエータ ,  ナノポジショニング ,  高精度 ,  *圧電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  サーボ機構  (IC03030Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： ストローク ,  圧電駆動 ,  3自由度 ,  ポジショナ ,  設計 ,  評価